二手 SVG 8600 / 8800 Series #9189849 待售
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SVG 8600/8800系列光刻膠系統是用於半導體制造的高分辨率、工業級、全自動晶圓制造工具。該設備設計用於在器件晶片上成像、開發和蝕刻光刻石層,目的是創造高質量、高分辨率的光刻技術。8600/8800系列由兩個主要部件組成;蝕刻室和濕板凳。蝕刻室負責執行光刻成像和蝕刻過程,而濕板凳則處理光刻帶和清潔等蝕刻後過程。該系統能夠將晶片從蝕刻室快速轉移到濕臺階,使操作員能夠在制造過程的不同步驟中快速高效地處理多個晶片。8600/8800具有多項高級功能,可確保平穩的操作和一致的結果。這包括一個最先進的激光掃描儀模塊,利用高端光學和激光技術在晶片上精確捕獲電路模式。此外,該單元通過其先進的算法和高吞吐量,能夠精確地處理復雜的路徑。8600/8800通過其創新的「多層能力」,可以一次對多個設備層進行成像蝕刻,在創造優質產品的同時提高效率。SVG 8600/8800系列提供高效靈活的操作選項。它完全可編程,允許用戶在原型運行和生產級別運行中使用完全相同的過程。通過直觀的圖形界面,操作員能夠自定義其設置以獲得理想的結果。8600/8800機還兼容了廣泛的標準光刻材料,使其對於不同的生產場景具有高度的通用性。為確保質量控制和安全,8600/8800系列光刻膠系統具有眾多安全傳感器和緊急關閉功能。它還裝有微粒管理工具,可以過濾和捕獲空氣中的微粒,保證優越的潔凈室材料。此外,該資產被設計為進行遠程監控,便於監督業務。SVG 8600/8800系列光刻膠系統提供可靠、高性能的結果和簡化的操作。通過其先進的特性和能力,它仍然是半導體行業領先的制造技術。
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