二手 SVG 8600 series #84863 待售

SVG 8600系列是為半導體、MEMS和Packaging行業的深紫外線和X射線後端設計的光刻設備。該平臺使用戶能夠以極高的均勻性和分辨率覆蓋大面積區域。8600系列是需要高度吞吐量、效率和可重復性的過程的理想選擇。該系統提供了一個非常精確的塗層廣泛的光刻膠和其他液體。它包括一個高性能的控制器，溫度調節，通風和可調視覺自動對焦，具有高水平的性能和生產力。SVG 8600系列帶有強大的圖形用戶界面（GUI）,旨在減少設置時間並減少與手動控制相關的潛在錯誤。它具有觸摸屏液晶顯示器,便於訪問和故障排除。該單元支持用於精確特征定位的強大對準工具和可進行精確流量控制的精細控制機器，以及變速電機和可調視覺自動對焦。8600系列設計用於處理多種光刻膠應用，包括直線頂層塗層、納米級填充和電接觸。汙染控制也可用於盡量減少空氣、微粒和液體汙染物的影響。此外，該工具具有可編程的二維運動能力，允許復雜結構的高分辨率陣列。SVG 8600系列旨在提供一致、高質量的結果,具有集成的安全功能和堅固的設計,以抵禦惡劣的化學物質和高溫。使用耐腐蝕的零件和材料也很容易清潔和維護。此外,該資產還具有可選的過程自動化功能,可減少操作員疲勞並提高準確性。總體而言,8600系列是一款功能強大且用途廣泛的光刻膠型號,專為半導體和MEMS行業的後端工藝而設計。它提供了高度的準確性和統一性，直觀的用戶界面和過程自動化，以及處理各種光刻膠應用的能力。其先進的安全特性和堅固的結構使其成為需要高吞吐量和重復性的深紫外線和X射線工藝的理想解決方案。