二手 SVG 8600 Series #9294223 待售

製造商
SVG
模型
8600 Series
ID: 9294223
Coater / Developer / Scrubber track system.
SVG 8600系列是一種光刻設備,由先進的能源技術組成,這些技術已經被開發用來優化制圖工藝。它提供高分辨率的光致抗蝕劑成像,可用於多種應用。8600系列系統采用先進的激光感應和薄膜成像技術,以最高的精度和透明度形成納米級圖案。它具有交互式液晶觸摸屏,用戶可以快速輕松地調整設置並實時監控過程。這一單元利用高速、多軸基底旋轉木馬實現跨基板的快速吞吐量,範圍從5毫米到150毫米寬。此外,它還具有步進電機驅動的快速聚焦調節功能,可實現精確且可重復的處理。SVG 8600系列設計用於各種光刻材料和基板。它允許用戶從各種抗蝕劑厚度中進行選擇,並提供快速曝光參數,可提供高達0.2 µm的一致分辨率。它的波長多功能性提供了UV到VIS光譜的圖樣精度,其強大的設計可容納多達200W個鎢鹵素照明器。除了出色的成像和曝光,這種類型的光刻機需要堅固的安全特性。8600系列包含新底物暴露、安全激光操作和精確抗沈積和顯影劑混合物的給藥系統。這種光致抗蝕劑工具還配備了激光安全保護聯鎖,在檢測到異常照射時對安全系統進行監控和激活。SVG 8600系列是一種高效的光刻膠資產,非常適合用於高級陣列制作過程。這個模型提供了最大的準確性和透明度,交互式屏幕,快速的聚焦調整和廣泛的基材,材料,和抵抗厚度。8600系列利用激光感應和薄膜成像技術,最大限度地減少了陣列錯誤,從而使產品更加一致可靠。
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