二手 SVG 8626 #9396687 待售

SVG 8626是由SVG Chemicals開發的光阻設備，設計用於制造先進的光掩模。該系統包括一種專有的光刻膠配方、一種新型的光掩模制造工藝和一種三層電鍍技術。8626中的光致抗蝕劑配方設計用於生產非常薄的層抗蝕劑，具有極好的分辨率能力。抗蝕劑配方使光掩模具有更小的特征、更高的縱橫比和改進的通過填充功能,同時還提高了精細和超精細特征的分辨率。這種抗蝕劑還允許在電鍍過程中由於其高均勻性和粘度一致性而降低圖像失真。SVG 8626中獨特的光掩模制造工藝使用光致抗蝕劑和折射率匹配的覆蓋物一起創建光掩模。該工藝采用三層電鍍技術，保證了特征的精確公差，提高了圖像分辨率，降低了屈服損耗。過程的第一層是光掩模，用於定義光掩模的圖樣。光被施加到光掩模上，它被暴露在感光材料上，如光致抗蝕劑。該過程的第二層是posites，用於提高光掩模的均勻性和改善vi-fills的尺寸。第三層是保護層，保護光掩模免受環境和熱應力的影響。總體而言,8626的光掩模制造工藝可實現高分辨率的光掩模,減少圖像失真,提高通過填充的性能,提高屈服損耗。此外，在加工過程中較低的熱應力和環境應力有助於延長光掩模的壽命並防止腐蝕。因此，SVG 8626光敏裝置是一種先進可靠的光敏機器，用於制造光掩模。