二手 SVG 8632 #9255090 待售

SVG 8632是一款光阻設備，由專門從事光阻的公司Shipley開發。它是一種掩碼技術，用於在半導體表面上創建圖樣。它是專門為高性能的光刻工藝而設計的，需要非常薄的抗蝕材料層。它也適用於在極薄的晶片上生產很小的特征尺寸。光致抗蝕劑系統由兩個關鍵組成部分組成：一個是光致抗蝕劑層，另一個是下面的硬烤層。光致抗蝕劑層對光敏感，用作圖案層。它由一種聚合物材料組成，如聚甲基丙烯酸甲酯、聚乙烯亞胺或這些的混合物，其中含有一種光活性化合物。硬烤層通常是一層薄的氧化物，如氧化矽或氧化硼，充當支撐層和擴散屏障。在8632光致抗蝕劑單元中，使用掩模來控制光致抗蝕劑層的曝光，並對表面進行圖案。要在所需位置創建圖樣,將蒙版暴露在光源下,並且所暴露的區域與光致抗蝕劑層中的光活性化合物相互作用。這種相互作用使得化學反應，使暴露的區域變得硬化和不溶解。硬烤層防止化學反應發生在晶圓的其他地方。SVG 8632光刻機能夠在晶片上產生極小的特征尺寸。此外，它提供了一個高水平的精度和分辨率，當陣列晶圓表面。此外,由於其高度可靠且定義明確的處理窗口,它確保了高流程一致性。此外，它的擁有成本很低。總體而言，8632光刻工具是高性能光刻工藝的理想選擇。它是一種可靠、準確且易於使用的掩碼技術,可產生非常小的特征尺寸和出色的工藝一致性。它擁有成本低，非常適合半導體行業使用。