二手 SVG 8632 #9396691 待售

SVG 8632是一種光刻系統，用於光學光刻工藝，專門用於28nm成像和更精細。它由可想象的、直接寫入專有的有機溶膠-凝膠抗蝕劑和基於溶劑的正音顯影劑組成。在EUV和Deep-UV輻射的存在下，抗蝕劑的光活性成分是堅固的，使抗蝕劑能夠暴露在非常短的波長輻射下，以實現精細的分辨率。抗蝕劑本身由一個非離子聚合物和一個雜環三導數組成，當塗在晶片上時可以形成高質量的圖像圖樣。許多較常規的酸性催化抗蝕劑在電阻率上對某些汙染物種類有限制，如大分子種類或二氧化物。然而，8632的溶膠-凝膠抗蝕劑對這種汙染物具有很高的抗性，使抗蝕劑具有很高的耐用性，並使其具有出色的成像特性。利用SVG 8632顯影劑開發抗蝕劑.它以有機胺化合物為基礎，一旦被激活，它可以作用於溶膠-凝膠暴露的抗蝕劑區域，以去除暴露的部分並留下未暴露的區域。這一過程使晶片能夠形成精細、準確的圖樣。8632是一個出色的抵抗系統，在設計時考慮了高分辨率的過程。其獨特的溶膠-凝膠抗蝕劑成分可實現高靈敏度和精確成像,其特征尺寸可達28 nm及以上,比常規光刻抗蝕劑要好得多。此外，其對空氣和汙染物汙染的魯棒性使抗蝕劑具有很高的耐用性，適合大批量生產。