二手 SVG 88 Series #9192887 待售
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ID: 9192887
Single track coater
Configuration:
Empty space for 2nd track
Send- Coa t-HPO-Receive
System cabinet:
Footprint:
Coat system: 42" Deep X 60" Wide X 38" High (with out CP)
Coat system: 42" Deep X 72" Wide X 38" High (with CP)
System frame:
Internal frame: Standard powder coated black
External panels: Stainless steel
Wafer type: Silicon
Wafer size: 3" Wafer round with flats
Wafer flow: Left to right
Rear of system bulkhead fittings and facility connections for:
Process chemicals: Photoresist, EBR solvents
Process gasses: Clean dry air, nitrogen
Process exhaust
Teflon insulated mainframe wiring
Process chemical dispense lines:
PFA or FEP - Photoresist
SVG Style card cage keypad and display with SVG software control:
Z80 Microprocessor control
(9) Events per program
Times variable from 0. to 99.0 sec. in 0.1 sec
Machine diagnostics: Machine and sensor status
System capable of processing wafers:
Automatic
Single or manual modes
Independent microprocessor control for each track
Automated transfer arm system for module to module wafer transfer
Emergency stop access front of system
Power junction box: 208V, 60Hz, 25A.
SVG 88系列是一種光致抗蝕劑設備,用於保護基板的預定區域不受反應性材料的影響。它由光源、感光塗層和遮罩板組成。光源通常是激光或閃光燈，而感光塗層是光敏聚合物。當暴露在光源下，感光聚合物反應而變得不透明，形成一層不透明的光致抗蝕劑。該層用作掩模,保護基板的區域不受反應性材料的影響。通常,遮罩板放置在基板和光源之間。需要保護的區域的圖樣被蝕刻到遮罩板上，允許光只在遮罩板有圖樣的地方通過到下面的感光塗層。這使得感光塗層僅在遮罩板具有圖樣的地方才能暴露於光線，導致與這些區域相關聯的感光塗層的部分變得不透明並形成一個光敏層。88系列系統的設計提供了一個一致的、細膩的、精確圖案化的光刻膠層。這層光致抗蝕劑被用來有選擇地保護底物在暴露於反應性材料時免受損傷，例如蝕刻劑或其他類型的反應性溶液。這使技術人員可以使用此單元來保護基板的指定區域,從而為制造過程提供詳細的控制和準確性。SVG 88系列機器可與各類基材搭配使用，如金屬、玻璃、塑料或陶瓷。它還被證明在制造集成電路、納米技術裝置以及其他尖端材料和工藝方面很有用。根據使用的材料類型，光源具有調節曝光功率水平、能量水平和持續時間的能力，允許在光刻膠層內進行詳細的控制和精度。88系列是創建光刻膠層的精確工具，使其成為制造各種材料和組件的寶貴工具。通過提供一個一致的、精確的圖案化光致抗蝕劑層，它能夠保護基板的預定區域不受破壞性反應性材料的影響，從而在制造過程中提供更高的精度和控制。
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