二手 SVG 88 #293749146 待售

SVG 88是用於電子工業生產集成電路（IC）芯片的先進光刻設備。它是利用紫外線光源將電路模式傳遞到化學塗層晶圓上的光刻系統。該單元的設計目的是在IC開發過程中最大限度地提高芯片產量和精度。光致抗蝕劑是一種輻射敏感材料，用於在基板表面上形成圖樣。在薄膜沈積之前，光致抗蝕劑被小心地紡到基板表面，通常是矽片。這種塗層極薄，需要精確放置，最終設備才能發揮作用。為確保對準，88利用先進的光學成像機跟蹤和引導光源。一旦光致抗蝕劑層旋轉到晶片上，則在沈積過程前使用反向色調抗蝕劑將晶片曝光。抗蝕劑暴露在極短波長的紫外線下，使暴露區域內的抗蝕劑變硬。這種硬化可以防止沈積材料滲透。要形成圖案,選定區域將被暴露,而其余區域將被鉻掩模覆蓋。然後可以對光刻膠進行幹燥和顯影，以顯示電路模式。之後，剩余的抗蝕劑被移除，允許模式被轉移到晶圓。此過程允許創建非常復雜的模式,從而產生一個可以快速高效生成的高度精確的設計。最後，電路光刻被金屬化，形成最終的圖樣金屬層。該層是構建IC的所有其他層的基礎，提供晶體管、電阻器和其他組件之間的電氣連接。SVG 88光刻工具是為各種應用創建復雜、設計精確的IC芯片的可靠而高效的方法。此外，光刻膠層完全可回收利用，減少了生產過程中產生的總廢物量。