二手 SVG 88 #293768872 待售

SVG 88是一種光致抗蝕劑設備，使用光致抗蝕劑塗層的金屬基板作為基板，以達到高分辨率圖樣和/或小金屬線。88系統由丙烯酸和聚酰亞胺兩種光刻劑組成。光致抗蝕劑是一種塑料材料，當暴露於特定類型的光時，其性質會發生變化。對於SVG 88單元，兩種光致抗蝕劑放在一起，並暴露在紫外線下，從而引起增加兩種光致抗蝕劑之間粘附力的反應。這種反應在兩種光致抗蝕劑之間形成牢固的鍵合，進而使底物被加工成高分辨率圖樣和/或小金屬線。為了制造圖樣或線條，金屬基板被放置在真空室中，並暴露於可光降解氣體中；這種氣體在金屬基板表面引起均勻反應，增加了光致抗蝕劑之間的附著力。然後，使用聚焦的紫外線照射工藝對基板進行定位和調節，導致光降解氣體僅在基板的裸露區域降解，使其他區域不受影響；這是由於曝光變化而創建模式或線條的地方。之後，在基板上塗上抗掩碼和/或抗反射塗層。這樣做是為了保護基板不受真空室內空氣的影響，並防止基板暴露於環境光中。最後對基材進行清洗，準備使用。88光刻機使制造高分辨率的加工金屬圖樣或線條成為可能,從而能夠制造否則很難或不可能生產的元件或零件。