二手 SVG 88 #293816345 待售

SVG 88是一種工業標準的光敏設備，設計用於各種制造工藝。光致抗蝕劑系統是一種蝕刻工藝，用於在基板上創建圖樣，包括矽片和其他材料。88采用先進的光刻技術，以亞微米分辨率方便制圖。這個過程開始於在像矽片這樣的基板表面上應用「光致抗蝕劑」。根據設計要求,光刻膠可以是正型或負型。基板隨後暴露於極紫外線（EUV），通常使用遮罩（「主圖樣」）。在此過程中，光致抗蝕劑按照主圖樣轉化，使底層基板不受影響。下一步是「發展」，即從基板上去除未暴露的光致抗蝕劑部分。這可以通過濕法化學蝕刻、幹蝕刻或原地「升空」工藝來完成。開發步驟的結果是基板上所需的圖樣。一旦在基板上形成圖樣，可以進行離子註入和/或熱退火等其他過程，以進一步修改和完善設計。例如，這些過程可以用來在基板上創建多層和三維結構。SVG 88是提供業界領先的分辨率和準確度的高度先進和精確的光阻裝置。這臺機器是制造高精度電路和元件的理想之選，廣泛應用於各行業生產高性能產品。