二手 SVG 88 #293829339 待售

SVG 88是一種光致抗蝕劑設備，用於促進微加工和納米加工中使用的薄層材料的圖案化。該系統利用深層紫外線（DUV）照明源曝光光刻膠片，隨後開發和蝕刻。該單元在半導體工業中得到了廣泛的應用，即在MEMS（微型機電系統）和NEMS（納米機電系統）制造中。88是由曝光和發展組成的兩步光刻過程。在曝光過程中，一層光刻膠被放置在基板上。此基板將成為設備。基材再塗上一種材料，通常是鉻，作為光刻膠的掩模。蒙版將屏蔽光刻膠保持暴露的區域，而未被蒙版覆蓋的光刻膠區域將暴露在光源下。SVG 88利用DUV光進行曝光過程。選擇DUV光是因為它可以處理低反射率的質量,並能夠以最小的抗蝕性顯影能力將深度達到300 nm。這允許在光刻膠內精細的分辨率和圖樣的控制。一旦暴露，基材就準備開發了。開發過程涉及使用開發解決方案激活暴露的抗蝕劑以進一步改變其物理性質。顯影劑作為濕蝕刻塗抹，接觸時會使暴露的光致抗蝕劑溶解在選定的位置。此過程允許在基板上定義光刻膠指定區域的敏感陣列。完成後，接下來的步驟通常是化學蝕刻或金屬沈積以完成設備。88由於其精細的分辨率能力而非常適合於微加工和納米加工,允許對基板進行高保真度的圖樣處理並指定單個組件。在設備完成後,可能需要應用一些過程（如剝離和濕式清潔）,以清除任何剩余的抗蝕劑的基板,並允許設備的最佳性能。總體而言，SVG 88是一種最先進的光刻機，利用深層紫外線暴露和顯影劑解決方案來精確定義基板上設備的組件。它的高分辨率能力確保了它在制造微電子系統和NEMS設備方面的地位，從而能夠在微小型/納米級制造中實現精確度。