二手 SVG 8800 #1220 待售
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SVG 8800光刻設備是一種用於極紫外線(EUV)光刻的光刻工具。該系統精確、高效、經濟高效,能夠以較低的成本實現更高的吞吐量。它能夠利用EUV光在平版印刷過程中創建高級圖案特征。該單元包括Scan and Stepper模塊,它能夠以精確的精度在晶片上創建高分辨率特征,同時減少時間和成本。它通過超高速掃描和步進機制實現了這一目標,該機制可以處理各種光功率級別。該機最具創新性的特點之一是其先進的多層薄膜沈積模塊,使得在晶圓表面上創建微觀尺度特征成為可能。它的多層沈積工具為更精確的圖樣制作了精確的材料層厚度。該資產還能夠進行超薄膜沈積,從而可以創建特征尺寸較小的圖樣。8800除了型號的掃描和步進方面,還包括基板制備階段和潔凈室環境。基板制備階段用於清潔和化學加工抗蝕劑和塗層的基板,而潔凈室環境為光刻曝光提供了受控環境。這是平版印刷過程中的一個重要步驟,因為它有助於確保最高質量的EUV圖樣制作結果。SVG 8800光刻設備還包括高精度對準服務。這使用戶能夠在系統的舞臺上快速準確地定位晶片和基板。該單元還包括先進的檢測系統,用於測量和驗證機器產生的模式的準確性。總的來說,8800光刻工具是一個強大和高效的平版印刷工具EUV過程。它提供精確、經濟高效的光刻技術,具有廣泛的應用,並提供高通量的高質量結果。資產的底物制備和潔凈室環境確保高質量的圖樣,其對齊和檢查服務有助於保持所創建圖樣的準確性和完整性。
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