二手 SVG 8800 #293619532 待售

SVG 8800
製造商
SVG
模型
8800
ID: 293619532
晶圓大小: 6"
Coater systems, 6".
SVG 8800光刻設備是為提供高精度光刻而建造的最先進的系統。這個單元由一臺強大的激光機器和一個直接驅動x/y定位臺組成,以確保最大精度和響應能力。該工具能夠自動寫入精確、均勻的圖樣,大小可達20 nm,可重復性為0.1 um。激光可以調諧到355nm至532nm之間的任何波長,從而在開發各種光阻基板時具有很大的靈活性。資產的機動化階段、微定位器和高精度光學器件提供了一個極其穩定和精確的平臺,使得可重復、一致的測量成為可能。該模型能夠以一致的密度自動暴露模式,以及創建具有準確和可重復結果的任意復雜模式。這使得光致抗蝕劑的模式一致,即使改變到不同的基材。該設備還配備了真空卡盤,以幫助保持基板和最小化熱位移。該系統還具有一系列高分辨率數字視頻功能,包括視頻監控和測量功能。這些功能可幫助用戶在曝光過程中監控其模式的狀況和位置,並確保其準確性和均勻性。此外,8800還配備了強大的圖像分析包,允許用戶詳細分析其結果以確保準確性。該單元還具有多種人性化功能,使設置和使用機器更加容易。例如,它具有可編程的設定點,允許用戶輕松定制其特定的使用方案,並方便地訪問後處理功能,如平版印刷清理、電阻處理和幹性抗蝕劑制造。該工具還帶有一個集成的用戶界面,便於創建、保存和編輯存儲的模式。SVG 8800光刻資產是光刻用戶強大可靠的工具。其精確度和準確性的結合,以及用戶友好的特點,使其成為任何實驗室的寶貴資產。
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