二手 SVG 8800 #9094408 待售

SVG 8800是一種光刻設備，用於集成電路（IC）的光刻和蝕刻。是加工聚合物、有機、金屬、復合材料等材料的通用工具。8800作為一種高端光刻系統，用於高精度的先進工藝要求和關鍵器件制造。SVG 8800由浸入式掃描儀、光束源、數字模式發生器和圖像捕捉或增強光學配置組成。浸入式掃描儀提供了一系列掃描字段,以支持IC分辨率降至50 nm。它利用1.35的高數值孔徑（NA）和專門設計的遮罩板來提供更高的工藝緯度。光束源由一個脈沖準分子激光器、一個光束成形單元和一個以532nm波長發射Nd:YVO4倍頻激光器組成。它提供了波長、焦點和脈沖能量的選擇，以精確地曝光具有高景深控制的光掩模。數字模式發生器是將電路設計應用數據精確轉換為光束源所需的精確打印參數的自動化機器。這使得基材的暴露能夠針對各種材料和工藝進行優化。圖像捕獲和增強的光學配置在打印前後從基板捕獲高分辨率圖像。它還執行對層（CTL）測量、針跡測量和通道特性至關重要的模式。總而言之,8800是一種先進的光刻工具,可提供出色的處理和成像性能。它具有更高的數值孔徑、脈沖能量控制、自動模式發生器和高分辨率圖像捕獲等一系列特征。這些組合使其能夠為IC制造提供高達50 nm分辨率的精密處理。