二手 SVG 8800 #9238269 待售

SVG 8800
製造商
SVG
模型
8800
ID: 9238269
System.
SVG 8800是一款設計用於半導體工業生產的最先進的光刻設備。它能夠生產高精度的感光元件,可用於制造電子設備的過程控制和精度。該系統能夠輕松設計多達4微米的復雜幾何形狀,從而確保行業中盡可能高的質量標準。8800通過閉環曝光單元運行,確保一致且可重復的結果。這臺機器通過復雜的透鏡、濾鏡、透鏡和橢圓偏光計陣列運行,以確保精確控制光刻膠的光照。這確保了它與幹燥膠片、可照相成像層或這兩者的組合的兼容性。該過程從光刻膠在晶片上的應用開始。在將精確的圖樣編程到機器中之後,它會移動到曝光室中,在該室中,光致抗蝕劑暴露於預定波長的光。此光隨後由透鏡、濾鏡和透鏡處理,直到達到橢圓偏光計可以檢測到的所需強度。然後用它來測量暴露了多少抗蝕劑,以及光致抗蝕劑需要多長時間才能固化。曝光完成後,機器移動到顯影室,顯影室由顯影/噴射器設置處理。這是一個閉環工具,從曝光和開發階段所涉及的各個組成部分收集信息,以確保最大程度的準確性和一致性。一旦顯影劑被添加到資產中,光致抗蝕劑就必須被洗掉才能在晶片上顯示所需的圖案。對於要求最苛刻的應用程序,SVG 8800提供了高級後處理功能,以平滑和細化曝光和開發過程留下的任何粗糙邊緣。此特征對於創建傳統光刻工藝無法實現的更復雜的幾何形狀特別有用。8800是滿足任何制造需求的快速可靠的解決方案。它提供了比傳統工藝更高的速度和準確性,從而實現了更高的質量和精度結果。該模型具有易於使用的控制和用戶友好的界面,非常適合任何半導體制造工藝。
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