二手 SVG 8800 #9296253 待售

製造商
SVG
模型
8800
ID: 9296253
晶圓大小: 4"
(3) Coater / Developer system, 4".
SVG 8800是一種高度先進的光阻設備,用於在多種材料中創建極其精確的微結構。它使用特殊的紫外線光源在一種材料的表面上創建圖像,可以用來蝕刻錯綜復雜的圖案和結構。8800能夠在薄膜厚度和圖樣分辨率上產生亞微米的帶狀變化,允許廣泛的應用。系統使用光刻技術在材料表面上創建圖像。它從一個稱為微場發生器的紫外線光源開始,產生三維圖像。此圖像投影到金剛石塗層曝光鈴鐺上。曝光鐘上是一層光刻膠,充當光敏染料,將紫外線轉換成照片。然後使用激光掃描光刻膠,激光讀取紫外線圖像並將數據存儲在文件中。然後,數據用於創建應用於材料的蝕刻蒙版。最後,材料被暴露在準分子激光器上,進行基於掩模的極其精確的蝕刻。SVG 8800單元能夠以廣泛的模式分辨率創建極其精確的模式和紋理。它能以最大均勻度蝕刻特征小至20納米的圖樣,非常適合微機電系統(MEMS)和納米材料等應用。機器還允許精確放置陣列元素,從而使從各種曲面創建復雜形狀變得簡單。總的來說,8800是一個令人難以置信的光刻工具,能夠創造復雜和精確的微觀結構。其金剛石塗層曝光鈴非常適合蝕刻復雜的形狀和特點,需要高精度和精確度。它的多種多樣的特性允許廣泛的應用,從微型機電系統和納米材料到工業和消費電子。
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