二手 SVG 8800 #9307770 待售

SVG 8800是用於集成電路制造的光刻膠系統。其設計目的是在半導體器件和其他電氣、機械和光電子元件相配時提供高分辨率和準確性。8800具有處理濕法和幹法蝕刻工藝的能力，能夠加工直徑達8英寸的基材。該系統配備了成像激光源、成像光學、掃描儀、光束剖面儀、激光運動控制器以及各種光刻塗層和處理室。成像激光源提供了必要的光源，用於在基板上制圖光刻膠。從光源發出的光調整到所需的波長和強度水平，以便有效地將光刻膠暴露於激光。成像光學器件將激光源發出的光聚焦到光致抗蝕劑表面上。這樣可以確保產生精確的光刻層圖樣。然後，掃描儀使用聚焦光在基板上繪制光刻膠圖樣。光束剖面儀用於測量激光束的光束輪廓。這樣可以對光強度進行精細調整，並使用戶能夠實現光刻膠層的最佳圖案。采用激光運動控制器，確保所產生的光模式具有最小的失真，同時保持正確的劑量分布。通過調整激光沿x、y和z軸的位置，可以調整激光光束的對準和聚焦，從而獲得最佳的光致抗蝕層照明。光敏塗層和加工室使使用者能夠相應地塗層和發展光敏塗層。這些腔室設有旋轉器、壓力容器、分配頭和溫度控制系統。所有這些系統一致工作，以確保光刻膠塗層和開發有一個最佳的定義和層厚度。SVG 8800是一種高度可靠和高效的先進光刻系統。它考慮了光刻膠制造中的所有不同方面，使設計人員能夠以極好的精度和可靠性對設備進行陣列設計。