二手 SVG 8820 #293749266 待售

SVG 8820是一種光刻系統，旨在讓工程師在半導體晶圓上制造晶體管等亞微米級結構。該系統采用先進的技術對光刻膠層進行曝光，以便以最高的精度和精度形成所需的結構。該系統由一個光源、一個透鏡、一個照相面罩、一個光刻層和一個堆積板/板幻燈片組成。光源在紫外線（UV）區域有一個波長範圍，該區域使用透鏡聚焦在照相面罩上。光罩是一塊透明板，上面裝有預定的結構，用來有選擇地將光刻膠層暴露在晶片上，一次一層。光線穿過遮罩，被引導到光刻膠層上，導致在膠片上產生圖案。這個過程被稱為「無掩碼光刻」，允許在晶圓上的結構定位上有更高的精度。光致抗蝕劑是一種光敏材料，在暴露於紫外線後分解，然後用溶劑沖洗掉，在晶片上形成圖樣。光致抗蝕劑層對不同強度水平的光更敏感，允許在整個晶片上創建高度不同的結構。堆積板和板滑軌允許晶片以非常小的增量移動，以確保結構在暴露於紫外線時精確對齊。8820能夠生產納米級和亞納米級的結構，用於生產非常快速和復雜的計算機芯片，以及傳感器和顯微鏡等許多其他應用。它是當今半導體工業所要求的高精度和高精度制造納米和亞納米尺度結構時必不可少的工具。