二手 SVG 8826 #293667131 待售

SVG 8826
製造商
SVG
模型
8826
ID: 293667131
晶圓大小: 4"
Coater, 4" Dual track.
SVG 8826是一種光刻設備,設計用於陣列一系列半導體和光電器件,包括用於電子制造的器件,如顯示器、半導體晶片、內存芯片和太陽能電池。8826系統由三個基本組成部分組成:光致抗蝕劑、光源和掩模。光致抗蝕劑是一種材料,它對光線照射產生反應,形成一種形成圖樣的化學反應。光致抗蝕劑通常是一種自旋液體,可通過自旋塗層方法加以應用。它通常由聚合物、樹脂或有機材料組成。SVG 8826中使用的光源是燈或激光,視應用而定,會發射出一波長對應光敏膠特性波長的光。光源通常放置在一個機櫃中,位於一卷含有光刻膠的材料之上。然後將材料卷連接到曝光單元,使光刻膠暴露於光。8826單元的第三個部件是面罩,由一塊金屬板組成,上面有許多小孔。遮罩放置在包含光刻膠和光源的材料之間。當光致抗蝕劑暴露在光線下時,光致抗蝕劑會變得光敏,並對光線產生反應。背光穿過掩模中的小孔,發生的反應導致所需圖樣的形成。在SVG 8826機器中,光致抗蝕劑材料通常塗在旋轉塗層的基板或晶片上。光源照射光敏材料,光敏材料對光發生反應。光致抗蝕劑材料的反應導致化學鍵斷裂,從而形成強烈的模式。圖樣化的光致抗蝕劑再經過曝光後烘烤過程,通常包括蝕刻步驟,然後光致抗蝕劑可以用來形成電路元件或晶體管。8826工具設計為高度通用。它用於對各種電子元件進行制圖,以及用於生產平板顯示器、半導體晶片、內存芯片和其他光電器件的光刻。此外,該資產還可用於在塑料薄膜和真空成型包裝上創建圖樣化圖像。SVG 8826也很流行,因為它可以用於創建具有高度精度和重復性的復雜電路模式。
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