二手 SVG 8826 #9375679 待售

SVG 8826是由Shipley Company, LLC開發的光刻膠設備。它是設計用於半導體和集成電路制造過程的多層抗蝕劑系統。它被設計為在各種各樣的過程中具有優越的性能，包括晶圓蝕刻、光刻和介電沈積，以及晶圓變薄、背磨和切丁。8826由正化學放大（CA）多層光刻膠組成，由三層組成：底層為基層，為單元提供粘附和溫度穩定性；中間層為QC/PMIR層；而頂層是PSIR層，為底層提供了免受反應性離子蝕刻（RIE）和其他高能蝕刻過程的保護。該機器的設計目的是提高關鍵光刻應用的性能,例如對臨界層進行圖樣化或在通用或高級I/O方案中提供1-2µm的特性。具有出色的檢測余量、高分辨率、耐蝕刻性能。該工具還具有出色的反射率控制、光照控制和叠加配準性能。此外,該資產的設計旨在為分辨率、附著力、蝕刻和曝光緯度提供更好的工藝利潤。它在SiO2上采用了基於等離子體的氯氣（Cl2）或氟氣（F2），具有一個安全CHF3抗性條帶工藝，對傳統的濕條帶技術提供了改進的工藝控制。該模型還提供了具有挑戰性的潔凈室條件，微粒和金屬汙染最小。最後，SVG抵抗設備支持廣泛的工藝條件包括正面（相移）、背面（上光光刻）、i-line和KrF曝光、正負色調、半色調多光束曝光、厚膜/低k應用。它還具有廣泛的塗層配置，包括單層、雙層、三層。