二手 SVG 8826 #9375680 待售

SVG 8826是一種用於微電子制造過程的光敏抗蝕劑系統。抗蝕劑使用自旋技術沈積在晶片表面上，然後將其暴露在輻射下，以創建圖樣。抗蝕劑隨後經過化學處理，形成交聯結構，作為各種蝕刻和植入過程的可靠掩蔽材料。抗蝕劑系統由三層組成：薄膜層、緩沖層和可聚合層，它們共同構成一種高度可靠的光敏抗蝕劑。膜層是一種化學放大的抗蝕劑，吸收入射輻射的光子聚合形成穩定的層。緩沖層由有助於蝕刻過程的熱固性聚合物制成；提高了蝕刻速率，同時保持了基板的兼容性。聚合層對輻射敏感，暴露時發生聚合反應。這一層進一步增強了對蝕刻的抵抗力，同時保持了由裸露圖樣創建的圖樣的保真度。抗蝕劑可以在248nm的波長下暴露於深層紫外線下，從而提高其光敏度。此外，8826在高達450°C的溫度下表現出出色的熱穩定性。這樣可以確保抗蝕層的結構完整性在經歷復雜的制造過程時保持完整。而且抗蝕劑可以與Si、SiGeC、藍寶石等各種基材搭配使用。溶劑基抗蝕劑架構也與多種沈積過程兼容，包括化學氣相沈積（CVD）和低壓化學氣相沈積（LPCVD）。SVG 8826系統提供高度穩定可靠的光敏抗蝕劑。它可用於各種制造工藝，並能承受高達450°C的溫度。它與多種沈積工藝和基材兼容，進一步增強了其在微電子應用中的多功能性。