二手 SVG 8832 / 8836 #9033927 待售

SVG 8832/8836是一款專為半導體制造等離子蝕刻工藝而設計的光刻設備。它是一種低分子量、聚乙酸乙烯酯為基礎的光致抗蝕劑系統，旨在防止濕蝕和幹蝕環境中的表面蝕刻。它對離子轟擊具有很高的耐受性，使得它可以用於反應性離子蝕刻和機械銑削等過程。8832/8836單元由三個不同的層組成。第一層是光致抗蝕層，是光敏材料的薄膜，暴露在光源下。它含有對光線敏感的分子，並通過在薄膜內形成暴露和未暴露的區域而對暴露產生反應。未暴露區域耐化學蝕刻，而暴露區域更易蝕刻。第二層是將光致抗蝕劑層與晶片表面結合的封蓋聚合物。它還可以防止光致抗蝕劑因離子轟擊和反應性蝕刻而蝕刻掉。第三層是曝光後烘烤層，是氧化矽的薄保護膜。該層是由於暴露於光源而形成的，用於在處理過程中保護光致抗蝕劑。SVG 8832/8836機已成功用於微處理器、DRAM等先進半導體器件的制造。它為其下面的層提供高度保護，使其免受熱、化學和輻射的損害。此外，它是一種低成本的光致抗蝕劑工具，因此適用於批量生產應用。8832/8836資產為0.35 µm以下的模式特征提供了極好的緩解。它還與其他輔助設備兼容，如剝離溶劑和O2基幹條。此外,它在從-25°C到+150°C的各種加工溫度範圍內都非常穩定。總體而言，SVG 8832/8836型是制造先進半導體器件的理想解決方案。它提供了極佳的防止蝕刻、熱、化學和輻射損害的保護；具有高達0.35 µm的出色圖樣分辨率；並且在各種加工溫度下都非常穩定。此外，它是一種適合批量生產的低成本解決方案。