二手 SVG 8832 #293667132 待售

SVG 8832是由SVG Chemicals開發的高性能光刻膠系統。它是一種化學機械拋光（CMP）抗蝕劑，配制用於半導體制造過程，如互連和低k介電層的平面化或拋光。化學是基於功能性環氧化物單體聚合成可交聯膜，然後將其應用到具有自旋塗層系統的底物上。旋轉塗層後，薄膜暴露在紫外線或可見光下，導致聚合膜交聯。這允許在CMP系統中處理時有選擇地移除抗蝕劑。8832溶解率低，在CMP漿液中表現出極好的穩定性。它也有一個低的收縮速率，特別有利於通矽通過（TSV）的應用。SVG 8832抗蝕劑在銅和其他金屬上也具有良好的附著力，並且與O2和H2等離子體工藝兼容，允許更快、更可靠的拋光後處理。此外，8832抗蝕劑由於其在陽光下的低光漂白特性和低揮發性，對環境友好且安全使用。這使得它們非常適合用於需要幹法或濕法蝕刻工藝的工藝步驟。此外，它們可以在廣泛的溫度範圍內使用，允許它們在不同的應用中使用。總之，SVG 8832是一種全面的光刻膠系統，在CMP工藝方面提供卓越的性能，同時與各種工作環境保持完全兼容。其低收縮率使其特別適合於通過應用的透矽，而其低溶解率和優良的CMP漿液穩定性確保了它符合一系列的化學品和底物保護需求。