二手 SVG 8836 #293608555 待售

SVG 8836是由SVG Laboratories, Inc.設計用於半導體制造的光刻工藝。抗蝕劑系統由幾種成分組成：一種光致抗蝕劑、一種顯影劑、一種灰和碎屑去除劑、一種灰抑制劑、一種表面張力改性劑和添加劑。光致抗蝕劑，又稱成像抗蝕劑，是一種光敏材料，在光刻中用來將圖案從掩模轉移到基板上。它是一種感光材料，與光源發生反應，在基板上形成不溶性圖樣。光致抗蝕劑單元包含多種光致抗蝕劑，每種都有自己的性質和特性，使其適合不同的應用。抗蝕劑被塗在基板上，然後暴露在光源下。輻射激活了光刻膠中的化學物質，這改變了它的物理性質--它變得不溶解，在底物上形成圖樣。曝光後，顯影劑用來去除未曝光的冗余光刻膠並露出圖案。顯影劑與裸露的材料發生反應，在基板上形成不溶的圖樣。8836然後使用灰和碎片清除器從基板表面除去任何剩余的光致抗蝕劑和其他類型的顆粒。這確保了基板上的高質量圖樣。這對於多層部件尤為重要，因為清潔對於操作過程中的高可靠性至關重要。SVG 8836還含有一種灰抑制劑，有助於限制光致抗蝕劑與顯影劑的反應，減少需要去除的灰燼和碎屑的數量。表面張力修飾劑調節顯影劑的表面張力，使光刻膠更容易去除。最後，8836含有添加劑，幫助微調抗蝕機的性能，並根據特定應用量身定制。綜上所述，SVG 8836是設計用於半導體制造光刻工藝的光刻工具。該資產由多種光致抗蝕劑、顯影劑、灰和碎片清除劑、灰抑制劑、表面張力改性劑和添加劑組成。這對於高質量和可靠的組件是非常重要的，因為它確保了從掩模到基板的精細模式轉移。