二手 SVG 8838 VP #9183892 待售

SVG 8838 VP
製造商
SVG
模型
8838 VP
ID: 9183892
Coater / Developer system.
SVG 8838 VP是為半導體制造中的精密蝕刻而設計的高性能光阻設備。該系統由三個關鍵組件組成:光刻膠、顯影劑和剝離機。光致抗蝕劑是一種具有光敏特性的聚合物,用於在蝕刻前掩蓋基板上的某些區域。然後使用顯影劑將光致抗蝕劑溶解在所需的基板部分,使底層材料暴露在外並準備蝕刻。然後使用剝離器從晶片中除去剩余的光致抗蝕劑。8838 VP光致抗蝕劑單元由於其低粘度液態和0.2微米的高分辨率,提供了極高的精密蝕刻效果。由於表面張力低、溶解度高,它的作用也很快,非常適合高速加工。該機具有廣泛的工藝控制功能,可對顯影劑進行精確控制,並具有較高的蝕刻速率和較低的侵蝕程度,以實現靈活有效的蝕刻結果。此工具適用於多個應用程序,主要用於生成單級和多級模式,以及創建高長寬比功能。SVG 8838 VP還提供極好的焊接性,並允許極精細的蝕刻和激光直接成像(LDI)。資產的特點是基板溫度低,溫度範圍在16°C至28°C之間,這對高溫敏感性基板特別有利,包括GaAs和SiC。綜上所述,8838 VP是為精密蝕刻而開發的光刻膠模型。它提供了極好的精度和過程控制,並提供了一個低表面張力和高溶解度的快速作用的結果。其廣泛的應用使得它適合於廣泛的應用,包括單級和多級模式生成,以及用於創建高長寬比特征。對高溫敏感的底物也是有利的。
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