二手 SVG 90 #293615917 待售

SVG 90是由半導體制造商信越化學公司開發的先進光刻設備。該系統由一個光刻塗層工藝和一個有圖案的光掩模組成。它是一種用於為高級半導體結構創建具有高分辨率成像的復雜設計的工具。90由對紫外線敏感的光敏塗層和光掩模組成。光掩模是一片薄薄的塑料或玻璃，塗有一個圖樣的照相膜。此陣列會阻擋紫外線的某些部分,從而創建可用於在基板上創建抗蝕層的陣列。將光刻膠塗層塗在基板上，然後將基板和面罩暴露在紫外線下。光掩模充當模具，只允許與其圖案相對應的區域暴露在紫外線下。光在光致抗蝕劑中引起反應，然後與底物發生反應，並通過蝕刻或化學洗滌除去。SVG 90單元能夠產生亞微米分辨率,從而實現非常精細、復雜的設計。此外，可靠性高，熱穩定性優良。這保證了它對蝕刻損傷的抵抗力高，適用於各種生產方法。這些特性使得90機適合多種類型的先進半導體結構。它最常用於生產MEMS（微電子機械系統），也用於生產納米級結構。此外,SVG 90工藝經濟高效,降低了環境影響,並具有很高的精確度。它提高了生產過程的產量，允許更高的吞吐量，可以大大降低成本。總而言之，90是新越化工公司開發的一種先進的光致抗蝕劑工具。它是由一個光刻塗層工藝和圖案化的光掩模組成。該資產高度可靠，產生亞微米分辨率。適用於多種類型的先進半導體結構，性價比高，減少環境影響。