二手 SVG 90 #293747980 待售

SVG 90是用於制造晶體管等半導體器件的光阻設備。它是一種負工作、深紫外線化學放大光刻膠，允許在各種基板上傳遞亞微米幾何形狀，包括矽、氮化物、玻璃和絕緣體上矽（SOI）基板。90系統主要由兩個組件組成-光刻膠和顯影劑。光致抗蝕劑是一種對光敏感的液態聚合物，當暴露在紫外線下時會變硬，在晶片上形成保護面罩。顯影劑是一種溶解和去除光致抗蝕劑的溶液。在設施一級，SVG 90單元由幾個子系統組成。這包括但不限於步進器（用於將成像投射到光刻膠層上）、烘焙機（用於蒸發光刻膠）、加工室和顯影器工具（用於清理光刻膠）。90資產需要高精度和精確度。其創造亞微米幾何形狀的能力，同時也提供高度深度控制，使其成為半導體器件生產的理想之選。為了確保取得最佳效果,必須嚴格遵守這些生產協議。例如，步進模型要求在曝光前精確放置和對準光掩模和晶圓，以便取得預期的結果。同樣重要的是要堅持推薦的烘烤溫度，這取決於所使用的光刻膠。最後，必須仔細監控顯影劑設備，以避免光刻膠過度曝光或曝光不足。總體而言，SVG 90是一種可靠、易於使用的系統，用於生產多種半導體器件。其精確度、可擴展性和多功能性使其成為設備制造商的熱門選擇。