二手 SVG 90 #293814154 待售

SVG 90是一種光刻設備，設計用於將各種功能整合到半導體鑄造廠和工廠中。它是由Sensitive Imaging Technologies開發的全功能、高性能的phototool平臺。90系統是同類產品中最新一代的光電抗蝕劑裝置,旨在降低開發和生產成本,同時提供強大的性能。SVG 90采用集成的光學和電氣控制體系結構,允許高級功能放置和統一的質量控制。該機器利用一系列先進的激光光學工具來實現自動化功能和計量能力。這是通過利用機械、激光和電機模塊的組合來實現的，以提供最佳的光刻工藝。90工具配備了先進的光學器件，如場展平光學器件，保證了均勻的光分布和精湛的圖像質量。其相機、激光系統、自動化測量系統和機器人手臂提供精確的對準和特征放置，吞吐量高。該資產還配備了三維測繪特征，可三維測量光刻膠高度。SVG 90是一種單晶片處理模型,能夠產生具有卓越性能的高分辨率抗拒圖像。它提供了多種抗蝕劑類型，如聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）、丙酮溶解聚羥基烷基酯（PHE）、novolac和聚酰亞胺抗蝕劑。軟件可以支持廣泛的設計功能，允許高精度生產和多重曝光序列。90提供了許多其他支持功能,包括多次曝光時間和像舞臺控制機制這樣的轉換功能,以及形狀的CAD支持、光阻測量學和內置缺陷檢測工具。該設備還具有很高的可重復性,可確保產品在一段時間內的一致性。綜上所述，SVG 90光致抗蝕劑系統是一種可靠、經濟高效的半導體制造統包解決方案。該單元配備了集成光學、先進激光光學、自動故障檢測和缺陷檢測工具等多種功能。90是生產和為復雜靈敏集成電路創建高精度特性的理想選擇。