二手 SVG 90 #9085777 待售

製造商
SVG
模型
90
ID: 9085777
晶圓大小: 6"
(2) Coater / (2) Developer system, 6".
SVG 90是一種先進的光刻設備,源自最先進的技術,適用於先進的光刻技術。它的設計目的是在一系列基板上安全、準確地設計復雜結構,如玻璃、矽和化合物。該系統使用高分辨率UV激光器,由一個多合一軟件包控制,該軟件包精確操作以創建微觀形狀和圖案。該裝置采用了革命性的無化學矢量蝕刻工藝,稱為激光誘導圖像生成(LIIG)。這一過程不需要傳統的化學蝕刻,因為它有自己的電阻材料和有害氣體儲層。因此,該產品對於各種應用(包括半導體器件、MEMS和傳感器的制造)都具有高效率和經濟效益。90具有全自動光刻機和提供高可重復性和一致性的操作。它的平臺尺寸為SVG 90 mm,可以加工直徑達200 mm的碎片。可以使用多種膠片格式來適應特定的應用,並且該工具可以輕松地重新定位膠片以更改圖案尺寸。除此之外,該單元還提供自動機動化對準和出色的分辨率處理,以生產高質量的模式。該裝置配備了由頂角燈組成的優化照明設備,提供均勻曝光。它還具有自動校準功能,可自動調整每次拍攝的曝光時間和照明水平,從而提高了圖案的準確性,而無需進行額外的手動調整。此外,石英室配有帶紋理的表面反射器和紫外線過濾器,可確保更高的控制暴露效率。綜上所述,90是一種高度先進的光刻膠模型,旨在高效和經濟高效地生產一系列基板中的復雜結構。它的自動化操作、精確的激光曝光和優化的照明設備使它能夠可靠地制作出精確度和可重復性極好的圖案。此外,它的矢量蝕刻工藝和無化學操作是優選的操作,要求精細和復雜的形狀。
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