二手 SVG 90S #293814156 待售

SVG 90S是開發超高分辨率光刻工藝的最先進的光刻設備。它被設計為提供優於其他光刻系統的分辨率和成像均勻性。該系統基於深紫外線（DUV）投影光刻，采用6英寸的標線和膠片舞臺。SVG 90-S光致抗蝕劑單元使用6英寸的標線圖樣投影到4x6英寸的膠片舞臺上。這樣可以將特征的分辨率降低到0.19微米。膠片舞臺配備了亞微米級驅動和舞臺校正機，使膠片與標線精確且可重復對準。此外,非軸向對齊工具可確保投影陣列保持在指定陣列範圍內。90 S的投影光學器件配備了先進的特性，如金剛石轉動光學器件、脈沖擔架、彎曲運動補償器等。金剛石轉動光學器件可減少光學像差,並確保投影圖像清晰準確,即使在最高分辨率水平下也是如此。脈沖擔架有助於最大限度地提高圖像穩定性和對比度，彎曲運動補償器確保投影圖案與膠片舞臺保持適當對齊。對90S使用的敏感膜進行了優化，以達到最佳附著力，減少殘留和碎屑。這種專門的光刻膠不會像其他光刻膠膠片那樣受到掃描誤差的影響。另外，小於0.1微米的抗蝕性厚度允許生產高精度特征。SVG 90 S資產由外部計算機通過以太網或USB通信控制。它配備了直觀的軟件界面，並提供各種工具和功能，包括陣列和叠加選項，允許以最高分辨率設計和打印標線圖案。總之，90-S是一種非常先進的光刻膠模型。它在分辨率和成像均勻性方面提供了最先進的性能，具有金剛石轉動光學、脈沖擔架和彎曲運動補償器等特點。此外，該設備用戶友好，配有直觀的界面和專用的光刻膠，能夠設計和印刷精細線條圖案，精確度和分辨率更高。