二手 SVG 90S #9206219 待售

SVG 90S（Sub-micron Vapor-Phase Growth）是一種可靠的光化學氣相沈積（PECVD）系統，用於處理高質量的介電、金屬和其他亞微米尺度的材料。它通常用於高k和低k介電膜沈積、金屬濺射和蝕刻等廣泛的半導體工藝。SVG 90-S的核心是C2旋轉反應器，它可以加工直徑不超過25mm的晶片。利用兩個同心水平圓柱體和一個外管實現低壓PECVD處理。在反應堆內部，晶片以非常低的速率暴露於精確控制的反應物氣體混合物中。這使材料汽化，使它們成核並生長到晶圓表面。反應堆內的反應物種被鹵素燈的光閃爍點燃，從而啟動該過程。通過這一系統，90 S能夠實現沈積膜的極高均勻性和保形性，因為蒸氣過程使得屏障和沈積速率可以在大面積上輕松調整而無需掩蔽。這使其成為低k和高k沈積過程的理想選擇,因為在極低臨界尺寸的寬晶片上可以在最小殘余應力的情況下獲得詳細的圖樣和厚膜。底物在低溫下發生反應時保持清潔，消除了有機顆粒汙染的風險。此外,90S通過直觀的觸摸屏控制面板實現完全自動化。這使得用戶可以非常精確地輕松地控制薄膜沈積速率、氣流和溫度。可以存儲多個過程配方並將其召回以用於可重復的應用程序,同時可以同時完成多個配方以提高生產率。SVG 90 S在亞微米尺度上對優質材料進行成型和沈積的能力使其成為廣泛半導體應用的通用工具。它的準確性和可重復性使得它成為亞微米級光刻膠加工的理想選擇，以及覆蓋像濺射、蝕刻、接觸形成等輔助半導體任務。