二手 SVG 90S #9383776 待售
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ID: 9383776
(2) Coater / (2) / Developer system
FTC And Semilab unit
(2) Intelligent pumps missing.
SVG 90S是一種用於半導體制造的光阻設備，用於創建微芯片和其他半導體器件的亞微米精度模式。它被設計成可與一系列光刻膠配合使用，包括正負光刻膠，因此可以用於多種任務。SVG 90-S系統是一個兩步過程，從軟烘烤開始，去除了抗蝕劑材料中的任何殘留水分。第二步涉及將光刻膠暴露在紫外線下，這允許材料的圖案化。曝光後采用曝光後烘烤工藝，確保抗蝕劑正確粘附在抗蝕劑膜上。90 S單元的原生分辨率為0.5 µm。這樣可以對極小的特征進行高精度的陣列處理。它還能夠使用各種不同的光刻膠，這使得它成為一個非常通用的機器。此外,該工具非常可靠,可產生一致的結果。90S資產還具有其他幾個獨特的功能。這樣的功能之一就是能夠檢測和標記錯誤。這允許檢測光刻膠圖樣中可能用肉眼看不到的缺陷。此外,模型還具有內置的流程監視器,可提供用戶友好的界面。這使得用戶更容易跟蹤光刻膠過程中每個步驟的進度。此外，90-S設備旨在維持安全的工作環境。它具有一系列安全措施，如壓力傳感器、最先進的溫度控制和緊急停止。所有這些特性使得SVG 90S成為半導體制造非常有用和高效的工具。
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