二手 SVG 90SE #293664357 待售

SVG 90SE是為制造半導體器件而設計的先進光刻設備。該系統利用激光和先進的抗蝕劑材料的組合，使極薄材料層的精密光刻蝕刻到半導體基板上。激光以三軸掃描單元的形式提供，能夠在基板上產生極其精確的三維表面細節。90SE非常適合制造非常小的組件,如金屬觸點和存儲芯片,以及設備隔離層和接觸層。該機還可用於創建用於光伏和MEMS應用的接觸開口和通風孔。SVG 90SE工具的主要優點是能夠以高度精確的圖樣對非常薄的光刻膠進行圖樣繪制。由於激光是按三維方向掃描的，彎曲結構可以以高分辨率圖樣。此外,該資產能夠快速高效地在大面積上創建模式。90SE模型中使用的抗蝕劑是專門為半導體器件設計的。抵抗劑設計為光的吸收度較低，使光能夠以更高的精度在寬廣的區域上定向。材料的阻力也可以調整，以更好地滿足具體應用的需要。SVG 90SE還利用創新的表征技術和過程分析軟件來確保所有制造的組件都符合要求的規格。如果需要,軟件還能夠排除與產品相關的問題。總體而言，90SE是一種用途極為廣泛的光刻設備，能夠在大面積上快速高效地創建極其精確的圖樣。這使得它成為在各種應用中制造半導體器件的理想選擇。