二手 SVG / AIO 86xx #9247857 待售

SVG/AIO 86xx系列是SVG為先進半導體器件生產而設計的光阻設備。該系統具有掃描光致抗蝕劑和噴頭子系統，在各種先進工藝水平上具有優異的缺陷覆蓋率、吞吐量和高產產量。該單元適合多種過程，包括多層次的模式，亞四分之一微米特征，以及通過和互連形成的能力。該機器能夠在全區域曝光和高精度特性之間快速切換,並具有細線分辨率功能。使用最多四個卡帶系統,該工具能夠實現高速吞吐量,同時保持產量和性能。該資產具有框架緊湊、散光照明低、陰影低、均勻性高等特點。它旨在消除局部遮蔽的可能性，提高邊緣敏銳度。該型號配備了四室自旋塗層/顯影器，用於快速精確的平面化應用和先進的化學/機械處理。具有0.4微米位置精度的九軸邊緣發電機設備有助於精確控制復雜薄膜的形成。該系統還包括一個輸出功率為2KW的多光束激光成像單元，用於快速、精確的無影光刻。先進的精密光學機器具有大視野,可提高吞吐量。光學軟件能夠同時控制光掩碼的對準和變形校正，從而形成清晰的結構，具有更高的分辨率和吞吐量。高級工具控制、監控和報告功能有助於快速提供有關流程性能和總體資產可靠性的反饋。該型號的卓越熱管理能力確保了高溫光刻膠等化學處理時的可靠運行和輸出。總體而言，SVG 86xx系列是一種先進的光刻設備，旨在為先進的半導體器件生產工藝提供優越的產量和吞吐量。具有控制嚴密、精度高的復雜圖樣處理能力，具有較高的可靠性。