二手 SVG / ASML 90 #9298643 待售

SVG/ASML 90是一款由SVG（Advanced Semiconductor Materials Lithography）開發設計的高端光刻設備。該系統於1990年引入，用於在微觀層面上創建極其精確的結構。光致抗蝕劑單元的工作原理是利用光敏化學物質（稱為光致抗蝕劑）在晶片上產生圖樣。本機使用數值孔徑為0.75的193nm KrF準分子激光器發射分成多個激光條紋的光束。這種光束隨後被用來暴露一種散布在晶圓上的感光化學物質（光致抗蝕劑）。光致抗蝕劑然後像磁鐵一樣被吸引到晶圓或基板的選定區域，在表面上形成圖案。SVG 90工具為半導體芯片的制造提供了高分辨率、高速、優異的光學性能。它的陣列曝光時間在14到18毫秒之間,具體取決於曝光場的大小。它使用了分辨率高達0.17µm線條/空間的陡峭邊緣輪廓資產，並具有+/-2nm的拍攝到拍攝的叠加精度。該型號可處理直徑達200毫米的晶片，高通量為每小時45至70個晶片。它還有一個垂直和水平對準設備，確保對準精度在垂直為+/-7.1nm，在水平為+/-3.9nm。除此之外，它還有一個復雜的漂移和焦點控制系統，可以補償晶片與晶片之間的錯位，並在晶片表面保持一致的重叠。ASML 90是半導體行業的寶貴工具，是芯片生產的關鍵組成部分。它能夠以極高的精度、速度和分辨率生成模式,從而在電子領域取得持續的進展。