二手 SVG / ASML 90S #39180 待售

SVG/ASML 90S是一種廣泛用於生產半導體芯片的光刻設備。它是一個所謂的間接曝光光刻系統，采用光敏材料（光致抗蝕劑）將其車載計算機產生的圖樣轉移到基板上。設備最多可配置三個曝光頭。這臺機器由幾個子系統組成，具體來說，一個掃描儀、一個晶片級、一個掩模塗抹器和一個晶片裝載機，它們通過高速網絡連接。掃描儀由多個光學元件以及一個移動階段組成。該級用於移動基板，由高精度電機驅動。為了繪制光致抗蝕劑圖樣，將特定波長的光投射到基板上。然後,高速、高分辨率的分級工具將確保光以所需的強度精確地指向目標。遮罩塗抹器位於掃描儀內，並容納一個金屬遮罩，用於將圖案投射到基板上。金屬遮罩本身包括孔徑和投影端口，其中來自指定波長的光用於產生所需的圖樣。晶片裝載機或裝載機/卸載機由幾個組件組成，這些組件用於確保每個基板正確對齊並加載到舞臺上，以及方便基板進出資產。一旦基板在舞臺上，面罩在面罩塗抹器中，曝光頭被發射，光束聚焦在光刻膠上，圖樣投射到表面。曝光頭包含一系列傳感器和控制器,可確保以適當的強度精確投影圖樣。最後，利用晶片級從模型中卸載基板，並為曝光過程設置下一個最大值。一旦基板卸載，就重復曝光過程，直到在基板上產生所需的圖樣。SVG 90S光敏設備非常適合大批量生產，因為它能夠產生精確和一致的結果。