二手 SVG / ASML 90S #9077807 待售

SVG/ASML 90S是一種計算機控制的光刻設備,利用接觸式打印,旨在以嚴格的方式將圖樣傳輸到矽基板上。用於微電子電路的生產。系統使用存儲在計算機上並從集成光學柱光學投影到基板上的圖案形狀。光學柱持有多種透鏡，如聚焦元件、成像元件和投影元件。在光學柱和基板之間放置一個遮罩,該遮罩保持電路模式。來自投影透鏡的光穿過掩模，聚焦到基板上。當光通過面膜上的圖樣時，它被聚焦在光刻塗層的基板上。根據所使用的光致抗蝕劑材料的類型，它要麼暴露在光線下，要麼被光線阻擋，以確定光致抗蝕劑中的圖案。SVG 90S單元具有一個模式發生器,可以將所需的設計精確地再現到基板上.這臺機器還包括一個密格幹涉儀，用於通過比較投影光束和反射光束的兩個波前來測量聚焦。此工具還包括一個舞臺控制單元，用於設置舞臺運動的精度、方向和z軸位置。此外，這項資產還有一臺激光掃描儀，將激光聚焦到基板上，用它來以亞微米精度調節舞臺的位置。這樣可以確保基板能夠準確移動，以保持投影圖案的定位。然後用紫外線光源將基板曝光，這就是用來曝光光刻膠的。然後在溶劑中開發出暴露的光致抗蝕劑，並按照制造商的指令進行處理。結果是基板上的電路模式在尺寸上準確精確。該模型還具有一個過程後集成工具,用於監控設備的性能,確保設備以最高容量運行。ASML 90S對於制造超高密度和高質量的微型元件（例如處理器、微控制器和存儲器）至關重要。它是市場上最準確可靠的光刻膠系統之一。