二手 SVG / ASML 90S #9078048 待售

SVG/ASML 90S是一種光刻設備,用於創建各種電子元件,包括顯示器、半導體電路以及芯片的托盤和支架。該系統使用各種工藝，包括暴露於高度聚焦的紫外線，在矽和其他半導體基板上創建圖樣和結構。該單元通常使用光刻單元,其中包含一個光源、最多四個攝像頭和一個介質供應機制,以及一個支撐基板的平臺。基板放置在平臺上，距離光源精確指定的距離。然後在要曝光的基板區域上方放置一個遮罩，並操作機器在基板上方移動遮罩和光源，同時控制光線的強度和曝光時間。然後，紫外線通過遮罩聚焦到基板上，塗在基板上的光刻膠膜對光產生反應。曝光時，光阻從可溶性轉變為不溶性，使基材的部分根據所需的結構不受保護、蝕刻或保護。使用不同的掩碼重復此過程幾次,以在基板上創建所需的特征。一旦基板按照設計進行了曝光和蝕刻，就用溶劑去除未曝光的光阻塗層，基板準備好下一步生產過程。SVG 90S是一種高度精確的工具,允許創建基板上的特征,其精度可降至微米級。它在生產各種電子元件中的使用使得生產過程中的復雜性提高了，結果的精確度也提高了。