二手 SVG / ASML 90S #9214756 待售

SVG/ASML 90S是由全球領先的半導體行業光刻系統提供商SVG開發的最先進的光刻設備。該系統旨在為深亞微米工藝提供一種可靠的晶片陣列設計方法。SVG 90S利用高精度和靈敏的激光曝光光敏抗性材料。借助可移動反射鏡，投影光學單元將光致抗蝕層中的地形圖樣投射到基板上，這使得微觀結構的創建具有很高的精度。為了達到足夠的曝光均勻性，在投影儀機器內采用了一個內部反饋回路來連續測量實際曝光並進行相應的補償。ASML 90S還配備了發射波長為193 nm的特殊氟化氙氣（ArF）激光器。這種波長對於在深亞微米過程中有效地暴露抗蝕層是最佳的。此外,使用傾斜引導工具實現晶圓對準,該工具掃描基板的表面並立即將位置的數據傳輸回軟件以調整其光束。為了提供與各種基板的無縫兼容性,90S還配備了全系列（未裝載）盒式磁帶、旋轉卡盤和晶片處理附件,所有這些附件都使用了高精度連接（HAC）資產,允許更換無托。所有這些組件確保晶片從盒式磁帶極精確地轉移到曝光頭。使SVG/ASML 90S在其他光刻系統中脫穎而出的是它提供了實時的打印性能分析。這確保了流程優化、集成的質量控制平臺,並進一步降低了運行成本。除了更改參數外,其他功能還包括備份和恢復產品數據、保護配方和軟件更新。SVG 90S是實現光刻精度更高的一個重要步驟，徹底改變了深亞微米工藝的模式。這種模式耗盡了最初的投資，提供了通用、可靠和具有成本效益的模式解決方案，以推動更高效的生產和隨後更高的產量。