二手 SVG / ASML 90S #9245069 待售

SVG/ASML 90S光刻設備是一種用於制造半導體芯片的光刻工具。因此,它是半導體行業生產具有復雜特性的不斷縮小且功能日益強大的芯片的能力的關鍵組成部分。該系統結合了電子束抗性處理、先進的成像光學、晶片對準技術和先進的晶片處理系統，創造出最佳的芯片幾何形狀和地形。SVG 90S由兩個組件組成：光學模塊和支持模塊。Optics Module配備了帶電粒子（電子）柱、特征成像光學器件、低真空抵抗曝光環境以及用於控制電子束曝光的扳機單元。Optics Module可以編程為在曝光過程中在抗蝕層中產生非常精確的特征，補償由於晶圓地形或打印錯誤造成的任何失真。支持模塊用於提供自動晶圓對準、基板處理和盒式磁帶加載。整個機器通過先旋轉晶片直到以正確的速度運行，然後電子束柱開始將電子向下射向晶片的抗蝕層。電子通過成像光學器件被偏轉並聚焦到芯片設計所需的特征上。曝光的精確度和精度由光學模組的扳機工具控制，該工具被設計成以非常精確的方式對電子束進行計時和引導。完成功能曝光後,將對資產進行編程以將晶片移動到支持模塊,以進行對準、卡帶加載和基板處理。光子模塊的電子束抗蝕性處理與ASML 90S支持模塊的自動處理相結合,提供了極好的精度和可重復性,使其能夠在晶片上精確生成和重現所需的特征。因此,這種模型在制造先進半導體芯片方面極具價值,使制造商能夠制造出更強大、更高效、更小的芯片。