二手 SVG / ASML 90S #9314698 待售

SVG/ASML 90S是一種用於半導體制造的激光光刻設備。它用於定義平版印刷和其他制造工藝的圖樣。SVG 90S系統使用激光器來曝光塗在基板上的感光塗層。激光通過一系列透鏡和鏡子被引導到基板上，從而產生所需的圖樣。然後開發基材，形成一種抗蝕劑，它將阻止暴露材料的一部分在後期被去除。激光首先是由摻雜了氙的鋁石榴石（Nd：YAG）晶體放大，並由計算機控制的掃描儀測定。YAG激光器進一步將光電效應感應到暴露的光致抗蝕劑上，從而在暴露區域內產生小的橫截面不均勻性。這些特性，以及光的強度，可以被改變，以調整光刻膠在生產過程中的性能。激光然後使用一系列透鏡聚焦到晶片上。一個可變數值孔徑（NA）單元允許不同形狀和大小的圖樣形成在光致抗蝕劑上。分束器也可用於提高曝光分辨率。激光的聚焦可以由自動擺動鏡機控制，以確保將曝光正確應用於整個晶圓。ASML 90S工具與去離子水浴暴露抗蝕劑去除、Steagall-liff-off和暴露後烘烤系統結合使用。此資產可用於創建高精度的光刻模式,開發時間從幾秒鐘到幾分鐘以上不等。這些模式可以從大型（VLSI）特性到最小的微電子電路。90S模型在半導體工業中被廣泛用於制造制造工藝的光刻模式。該設備提供精確和一致的曝光，並將能量損失降至最低，從而在生產中獲得最佳效果。其產生極小特征尺寸的均勻圖案的能力，使得復雜先進的微電子器件得以產生。