二手 SVG / RITE TRACK 8800/8836 #9165921 待售

SVG/RITE TRACK 8800/8836是一種自動化的光阻設備，設計用於在半導體基板上圖樣化和發展精密特征。該系統可用於光刻、蝕刻、化學機械平面化、摻雜、金屬沈積等半導體制造工藝。SVG 8800/8836單元利用雙軌機進行精密的照片圖樣制作和抵抗開發。此工具的第一個磁道是為晶圓上定制特征的精確陣列而設計的,而第二個磁道則用於處理和開發抗蝕劑。該資產支持多種功能材料的開發和制圖，包括熱氧化物、WBC oxie、GaAs、SOI、NiSi、聚酰亞胺等多種材料。RITE TRACK 8800/8836型號包含了一個高度先進的用於制圖的激光設備和晶圓處理的精確放置階段。激光系統采用兩種微米狹縫光學器件，具有可選的光束對準功能，可改善圖樣，提高穩定性。此外，該機組還設有可變溫度區，用於快速冷卻和加熱，以及液晶面板，方便晶圓導航。整個機器可以放置在緊湊、單件的機身內，以更好地方便開發過程。此功能可以方便地將工具放置在潔凈室地板上,並減少在多個進程中設置和重新配置所需的時間。還提供各種選項,例如高級熱管理冷卻資產,以滿足客戶的要求。SVG 8800/8836是創建最精確模式的重要工具,可用於最困難的半導體應用。它提供了易於使用的功能工具,可快速準確地自定義和配置流程。此模型非常適合需要精確陣列和精確抵抗開發的大批量生產環境。