二手 SVG / RITE TRACK SVG 90 S #9179395 待售
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已售出
ID: 9179395
晶圓大小: 6"
(2) Coaters / (2) Developers system, 6"
(4) Loaders for cassettes
HMDS Module
(4) Chill plates
(5) Hot plates
Temperature bath controller
Semifab air flow controller
Linear single center robot
Full enclosure
With charcoal filter system
Control cabinet:
Height: 66”
Width: 13”
Main chassis:
Length: 142"
Width: 54"
Height: 98"
Currently stored in cleanroom.
SVG/RITE TRACK SVG 90 S是來自RITE TRACK DLE, Inc.的光阻設備,功能是產生錯綜復雜的半導體電路。該系統開發用於商業和研究型光刻工藝,采用一種有吸引力的蒸發塗層技術,應用於硬化木材表面。這種塗層工藝形成了通常光刻塗層工藝的加速版本,使得結構化金屬化的整個模式能夠以比其他方式更高的速度和分辨率產生。使用SVG/Rite Track SVG/RITE TRACK 90 S單元的過程始於通過數字化微型計算機將陣列電路設計轉移到光掩模。然後在光掩模上塗上一層惰性氣體,以防止氧化並產生保護性屏障。然後用光敏材料的化學靈敏度增強層噴塗曝光的光掩模表面,以方便下一階段的處理。光能隨後被聚焦在光掩模表面上,從而引發化學反應,導致光響應塗層變硬。這種硬化的塗層允許將所需的設計模式均勻轉移到硬化的木質基板上。然後可以通過基於所需的材料層的多種方法進一步開發光刻膠。SVG SVG 90 S還包括自動厚度控制機,產生用戶指定的理想層厚度。此外,該工具允許密切監測和可調整的工藝參數,確保光致抗蝕劑層符合具體項目的限制。綜上所述,SVG/Rite Track RITE TRACK 90 S是一種光阻資產,旨在快速準確地生成復雜的半導體電路模式。其吸引人的蒸發塗層技術和自動化模型參數使用戶能夠以比傳統光刻更高的分辨率產生高質量、復雜的結果。這些優點使SVG/Rite Track SVG/RITE TRACK 90 S成為基於商業和研究的光刻工藝的理想選擇。
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