二手 SVS MSX-1000 #9364566 待售

SVS MSX-1000是瑞典真空系統公司（SVS）開發的光阻設備，集成了包括先進真空系統、成像技術和機器人自動化在內的全方位創新技術。該系統以先進的真空技術為基礎，該技術將許多相互連接的組件合並為一個整體單元。它結合了高速二維成像、真空提取和真空應用，以確保可重復和可靠的結果。該機采用獨特的半自動化工藝，在電阻薄膜和MEMS元件的沈積和開發方面實現更高的吞吐量。該工具的成像技術允許對基板和圖樣進行詳細成像,以確保準確的沈積過程,支持標準光學光刻技術和新穎的圖樣制作技術。它能夠成像尺寸高達500 mm2的基板,並具有一系列成像模式,從接觸到極端紫外線。資產還具有主動背光功能,可用於實現對比度成像和背面照明。真空模型能夠快速準確地傳遞材料和液體，同時提供高精度和重復性。其各種部件包括一個自動轉移零件的機械臂、一個用於沈積薄膜的熱蒸發器和一個用於沈積金屬的濺射設備。SVS MSX 1000的高級特性的綜合作用是，它能夠精確一致地沈積保護性光刻膠層，用於平面化或後續處理。通過將系統的成像和沈積能力相結合，可以創建可重復的特征，並始終保持到亞微米級的高質量微尺度模式。此外，MSX-1000還提供全面的軟件支持，能夠精確控制沈積過程和圖像分析。這確保了光刻膠層的最佳附著力和所應用圖像的最高分辨率。MSX 1000是一種強大的光阻裝置，旨在優化保護層的沈積和微量尺度模式在一系列基材和材料上的精確應用。它具有多種創新功能,例如先進的真空系統、成像技術和機器人自動化,使其成為各種工業應用的理想選擇。