二手 SVS MSX-1000 #9409621 待售

SVS MSX-1000是為各種科學和工業應用而設計的光阻設備。它是一種由專門的點接觸矽處理環境產生的光致抗蝕劑材料。該系統采用超高分辨率、精密光刻和高分辨率紫外線（UV）固化相結合，實現了極致的光刻圖樣。SVS MSX 1000單元的工作頻率高達0.5微米,具有與復雜光刻工藝相關的所有性能參數。除了創建到10微米範圍內的互連之外,它還能夠創建低至5微米的特征大小。它還可以生產分辨率為1微米的微加工元件。為達到高分辨率的特點，采用了精密點鏡頭成像機。與采用區域暴露技術的類似系統相比，這導致了較少的缺陷。此外,使用連續可變的照明孔徑尺寸允許提交以優化曝光,並在特征尺寸控制方面獲得更高的精度。MSX-1000使用的光刻膠技術允許更快的處理時間和可重復性的優勢。這是因為光致抗蝕劑經過化學處理，而不是結構暴露。這保證了大分子變異的範圍較小。該工具還允許進行後處理，對材料進行化學固化，使其堅硬耐受機械沖擊和有機溶劑暴露等應力。MSX 1000光刻膠資產能夠產生高分辨率的特性,同時確保最小的圖像失真。化學加工的使用也是有益的，確保了生產的可重復性和保證高質量的結果。此外，它還能夠提供快速的周轉時間，使其成為需要精確和詳細結果的應用程序的理想選擇。