二手 SVS / SCIENTIFIC VALUE SOLUTIONS MSX-1000 #293760261 待售

SVS/SCIENTIFIC VALUE SOLUTIONS MSX-1000是一種專門為積極的光刻細線處理而設計的光刻曝光和開發設備。該系統是一種可編程的自動曝光和開發設備,旨在為正反色調光阻處理中最窄的特性要求提供連續的過程解決方案。該單元有一個由精密線性級和單軸伺服電動機組成的單一機構,使機器能夠沿著X軸和Z軸精確移動,速度高達每秒0.1mm。曝光和開發頭具有X、Y和Z的用戶定義的可編程運動模式,空間分辨率為1 μ m/步進。SVS MSX-1000提供多種分辨率,包括0.4 μ m、0.5 μ m、0.7 μ m、1 μ m和1.2 μ m。該工具還提供多種曝光模式,包括Brightfield、Darkfield、邊緣銳化、對比度和分辨率增強。它還能夠執行可變重復曝光、可變多重曝光、多層曝光、2D/3D偏移曝光和同時3軸曝光。它還可以容納包括深紫外線、可見、紅外光敏等多種光敏材料。SCIENTifIC VALUE SOLUTIONS MSX1000具有用戶友好的控制界面,可輕松管理、保存和重新加載資產設置,包括所有曝光和開發參數。而且MSX-1000的伺服驅動模組構造也為基板處理和溫度變化提供精確的對準和補償。該模型標配了一系列可用的現場計量工具和檢查設備，使用戶可以在曝光過程中監控打印位置和景深。SCIENTifIC VALUE SOLUTIONS MSX-1000確保卓越的輪廓控制、低臨界尺寸（CD）變化和卓越的打印能力,從而幫助消除因過程錯誤對齊和儀器漂移而產生的低效叠代。它是為降低產品周期時間而盡量減少人工和成本的過程效率和可靠性而設計的。憑借其特點和功能,MSX1000為平版印刷細線印刷提供了理想的解決方案。