二手 SVS / SCIENTIFIC VALUE SOLUTIONS MSX-1000 #9302609 待售

SVS / SCIENTIFIC VALUE SOLUTIONS MSX-1000
ID: 9302609
Coater / Developer system.
SVS/SCIENTIFIC VALUE SOLUTIONS MSX-1000是一種光阻設備,以超過同類競爭系統的吞吐量提供高分辨率的光掩模成像。SVS MSX-1000以其強大的成像功能和連接性支持廣泛的應用程序。它專為深紫外線(DUV)成像和功能尺寸應用而設計,其尺寸可達2.5微米。SCIENTifIC VALUE SOLUTIONS MSX1000系統結合了多種技術,在分辨率、準確性、速度和可擴展性方面提供性能優勢。首先,MSX-1000的精確線性級通過對準光學確保了高度的準確性和可重復性。舞臺還設計用於快速、長距離的加工操作。其次,MSX1000使用氣動執行器來滿足強大的圖像曝光需求,以創建統一的成像過程並提高可靠性。第三,SVS/SCIENTIFIC VALUE SOLUTIONS MSX1000還利用專有的成像引擎與快速3軸伺服電動機協同工作,以提供高通量的掩碼成像。先進的成像引擎還集成了多種功能,可確保納米級特征尺寸要求的成像精度和精確度。SVS MSX1000遵循最先進的設計,允許輕松連接最苛刻的硬件和軟件組件。該單元兼容CAM、模擬和處理軟件,並與領先的掃描電子、X射線和透射電子顯微鏡(SEM、XRM和TEM)集成。此外,該機還具有專有的現場順序激光成像(FSLI)支持,可快速成像小物體。最後,SCIENTifIC VALUE SOLUTIONS MSX-1000還配備了彩色激光曝光工具,以確保清晰、功能豐富的成像。總體而言,SVS/SCIENTIFIC VALUE SOLUTIONS MSX-1000的多功能性使其成為滿足大型企業光刻需求的理想解決方案。憑借其先進的成像引擎和先進的連接能力,該資產可提供高度準確、精確和專業的掩模成像,並具有最大的吞吐量。
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