二手 TAKADA TWPS-064-TJ #9266615 待售

TAKADA TWPS-064-TJ是一種用於微電子和光電器件制造領域的負作用光阻系統。它具有優異的蝕刻性能和分辨率，適用於厚膜和薄膜光刻工藝。光致抗蝕劑由負作用酸設計的配方組成，允許在暴露於紫外線時在酸位點快速交聯。此功能可對非常精細的圖樣進行高分辨率蝕刻,使其成為微電子設備制造的理想選擇。這種光致抗蝕劑有糊狀液體的形式，粘度高達1.4平衡度。它可以使用醫生刀片、絲網或旋轉塗層方法應用於基板。一旦將抗蝕劑施加到基板上，就可以使用反射面罩或非反射面罩將其暴露在紫外線下。暴露時，抗蝕劑的暴露區域由於酸基配方而發生快速交聯，形成了具有優異抗蝕刻性能的聚合結構。這樣可以確保在蝕刻過程中只會影響抗蝕劑的暴露區域。因此，可以實現高度精確和復雜的模式。曝光後，光致抗蝕劑需要開發和烘烤才能完成工藝。顯影過程除去抗蝕劑暴露但未暴露的區域，烘烤過程確保酸基反應完整，除去光致抗蝕劑多余的溶劑和未接觸的組分。TWPS-064-TJ是一個可靠和高效的光刻膠系統，為精確和復雜的圖樣提供卓越的蝕刻阻力。利用其基於酸的配方，為各種微電子和光電器件的制造提供了可靠和可重復的結果。糊狀液體使用醫刀、絲網或自旋塗層方法很容易塗抹在基板上。然後，它可以暴露在紫外線下，經過開發和烘烤，以獲得可靠和可重復的結果，實現復雜和高分辨率的模式。