二手 TAKAGI / SANGYO VHM15LC11 #9394920 待售

TAKAGI/SANGYO VHM15LC11是一種光刻設備，其設計允許制造微電子和光電元件和器件。它由一個圖案室和輸送系統、一個頂部和底部的塗層室、一個帶集成照明單元的蝕刻室和一個烘幹機組成。圖案室和送貨機提供了一個精確的方法來模制晶片的裸露的抗蝕劑表面。這是通過使用常規的光學工藝來添加光和圖案化的塗層來實現的。模式以電感應線的形式表示，以及精細尺度的模式。交付工具具有專門設計的光學資產,以確保陣列精確對齊和精確分布。頂層和底層塗層腔室利用預先測量的光敏材料體積，將其放置在晶片表面上。頂部塗層可確保均勻粘附到晶片上,而底部塗層則可提高圖樣質量。采用一種特殊設計的照明模型，根據預編程指令，將光刻膠曝光，並對晶片表面進行圖樣繪制。蝕刻室提供了對光刻塗層晶片進行濕蝕刻的能力。安裝了自動化設備，以確保蝕刻的圖樣精確，質量高。集成照明系統允許使用光學密度精確放置圖樣蝕刻。最後，用烘幹機方便從晶片中去除多余的光致抗蝕劑。它采用了湍流氣流，以確保不會留下任何水分，所有的抗蝕劑痕跡都被完全汽化。這減少了在精加工過程中發生潛在缺陷的機會。總體而言,TAKAGI VHM15LC11是一個高度先進的設備,在與制造微電子和光電元件一起進行操作時,其精度達到了令人印象深刻的水平。其自動化的圖樣和蝕刻能力，加上其集成的照明機器，使組件能夠得到熟練的處理，以滿足最高的行業標準。