二手 TEL DUO #293670501 待售

TEL DUO是用於制造電子和光電元件的光刻材料設備。它是兩個聚合物層的組合，每一層都有不同的反應性染料。在這方面，整個系統材料統稱為「光致抗蝕劑」。DUO由東京電子（TEL）開發，用於半導體器件的制造過程。由於其優越的化學和環境耐藥性以及作為光、熱和腐蝕的光致抗蝕劑的能力而被廣泛使用。TEL DUO單元是一種兩層結構，最初塗覆有矽酮基紫外線（UV）光致抗蝕層。然後使用光敏抗蝕劑應用該層。利用暴露於紫外線和化學蝕刻技術，以高精度打造出超薄的光刻膠層。DUO機的第二層是一個正色調的光刻膠層，塗覆在暴露於UV的光刻膠之上。該層有助於以比標準UV抗蝕劑更高的精度在光電抗蝕層中創建圖樣。在應用TEL DUO工藝時，紫外線從基板層上方照射下來，頂部的光刻膠層通過遮罩曝光。一旦暴露出來，頂層就被用化學試劑蝕刻掉，露出下面有圖樣的光致抗蝕劑層。DUO光敏工具的優點是多方面的。它不僅提供了卓越的化學和環境耐藥性，而且還能夠高精度地制造出小而復雜的電子和光電元件。此外，它的雙層保護比單層更持久，從而延長了那些處於惡劣條件下的部件的壽命。最後，由於TEL DUO資產能夠很容易地與現有的光刻系統結合使用，因此可以在半導體器件和光電元件制造中快速實現。